LL-HS-DS 熱式氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

二、主要技術(shù)指標(biāo)：

1	量程范圍	（0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM
2	準(zhǔn) 確度	±0.5%F.S/±1.0%F.S
3	線性	±0.5%F.S
4	重復(fù)精度	±0.2%F.S
5	響應(yīng)時(shí)間	電特性：1sec 氣特性：（1～4）sec
6	工作壓差	0.02～1.0Mpa
7	耐壓	3Mpa,10Mpa
8	工作環(huán)境溫度	0～50℃
9	數(shù) 字量	RS485/232 MODBUS 協(xié)議
10	模擬量	DC 0～5V ，1～5V，4～20mA 可選
11	供電	DC ±15V/24V 可選，電源功率≥20W
12	電氣連接	DB15 針
13	漏率	1×10-9SCCSHe
14	底座材質(zhì)	316L 不銹鋼
15	密封材質(zhì)	氟橡膠，聚四氟乙烯，丁晴橡膠
16	氣路接頭	3/4〞，φ20，φ25，法蘭連接

注意：
質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)?N?)標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
溫度-----298.15K (25℃);
氣壓-----101325 Pa （760mmHg）
F. S (Full Scale); 滿量程值

三、工作原理：

LL-HS/DS 系列氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè) 量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

四、一般異常情況判斷和處理：

現(xiàn)象	可能原因	處理方法
開(kāi)機(jī)后無(wú)氣體流過(guò)	氣源未開(kāi), 氣路不通	接通氣源，開(kāi)通氣路
	沒(méi)有設(shè)定目標(biāo)流量	參照操作詳解 3.3.1
	過(guò)濾器堵塞	更換過(guò)濾器
	調(diào)節(jié)閥故障	檢查閥線圈是否斷開(kāi)，清洗調(diào)節(jié)閥
	電路故障	維修電路
	零點(diǎn)偏差	參照操作詳解 3.3.6
流量控制不穩(wěn)定	傳感器故障	更換傳感器
	電路故障	維修電路
	閥門污染	清洗閥門，更換密封件
	氣源壓強(qiáng)太低或不穩(wěn)	提高氣源氣壓，穩(wěn)定氣源壓強(qiáng)
在閥門關(guān) 閉的情況下，仍有較大的流量流過(guò)	調(diào)節(jié)閥故障	重新調(diào)整調(diào)節(jié)閥
	入口氣壓過(guò)高	降低入口氣壓
	通道堵塞	清洗 MFC 通道
流量顯示不能達(dá)到滿量程值	設(shè)定目標(biāo)流量低于滿量程	檢查設(shè)定值
流量顯示不能達(dá)到滿量程值	其它電路故障	維修電路
不通氣時(shí)零點(diǎn)不穩(wěn)定	電路故障	維修電路
不通氣時(shí)零點(diǎn)不穩(wěn)定	傳感器故障	更換傳感器